某半导生产制造中小企业因晶圆的洗涤流程所产生含氨废水除理,供水量200吨/天。废水除理中除高锰酸盐指数外还具有氟化物和少量天价属,除理强度大。本市产生标准规定条件高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 组成及由来
晶圆除污废水处理方法(其主要种类):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工序工业废水:含少量铜、镍等天价属,pH值冲击大
CMP打磨废污水:含硅顆粒及氧化还原电位
进行处理加工制作工艺 过程
主要采用"物理奠定+膜离心分离+折点氯化"整合加工:
预净化处理
:添加CaCl2除氟,控制pH在7.5-8.
反渗透膜设计
:除掉0.01μm及以上颗料物
反融入原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖
:将高锰酸盐指数溶缩至1000mg/L超过
折点氯化
:精准度管控氯加药系统量,将化学需氧量转化率为氦气
正离子交流
:担保天价属达到
进而功能
化学需氧量稳定性高<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属量降至检查限
水回收利用率达75%
生活污水制造量极大减少40%