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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体加工芯片加工芯片打造厂在晶圆激光加工过程中中,采用硅烷来硅外延性生长期,氮氧化合物洗條塔产生高浓硫酸浓度含硅电镀废污水。电镀废污水兼有pH变化大(2-11)、硅含锌量高的优势,以往加工技巧易展现硅垢堵塞了间题。 生产废水部分及源 生活污水包括有效成分为: 溶解出来性硅酸盐 :SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢阳极氧化钠 :洗衣塔酸碱平衡洗衣液留 小粒硅 :納米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 :塑料原材料溶物带往 清理工艺设计步骤流程 技术创新进行"两极结合+膜吸附+蒸发掉心得"加工制作工艺 : 七级与 :用CaO调低pH至4-5,提取硅酸钙凝固,硅出掉率60%。 特殊中合 :加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进几步滤渣剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。 超滤膜设备 :0.02μm瓷器膜过虑nm级硅粒状,通量平衡在80LMH。 MVR汽化器 :浓缩液高盐污水,晶粒出Na₂SO₄副品牌,水工业废水处理率超90%。 结果英文效率 总硅从1500mg/L减至5mg/L这 砷分子量从0.8mg/L下降0.01mg/L 软件系统无积垢使用低于2年 年均收售氢氧化钾钠晶状体约800吨

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