某半导体加工芯片加工芯片打造厂在晶圆激光加工过程中中,采用硅烷来硅外延性生长期,氮氧化合物洗條塔产生高浓硫酸浓度含硅电镀废污水。电镀废污水兼有pH变化大(2-11)、硅含锌量高的优势,以往加工技巧易展现硅垢堵塞了间题。
生产废水部分及源
生活污水包括有效成分为:
溶解出来性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢阳极氧化钠
:洗衣塔酸碱平衡洗衣液留
小粒硅
:納米级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:塑料原材料溶物带往
清理工艺设计步骤流程
技术创新进行"两极结合+膜吸附+蒸发掉心得"加工制作工艺 :
七级与
:用CaO调低pH至4-5,提取硅酸钙凝固,硅出掉率60%。
特殊中合
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进几步滤渣剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。
超滤膜设备
:0.02μm瓷器膜过虑nm级硅粒状,通量平衡在80LMH。
MVR汽化器
:浓缩液高盐污水,晶粒出Na₂SO₄副品牌,水工业废水处理率超90%。
结果英文效率
总硅从1500mg/L减至5mg/L这
砷分子量从0.8mg/L下降0.01mg/L
软件系统无积垢使用低于2年
年均收售氢氧化钾钠晶状体约800吨